FSI SmartCell
FSI SmartCell
La FSI Smart Cell de ATG technologies permet de charger et de décharger automatiquement des paniers de wafers dans un système FSI Mercury, mettant en œuvre une pulvérisation automatique pour le nettoyage des plaquettes de silicium de diamètre de 6, 8 ou 12 pouces.
La FSI Smart Cell est une cellule intelligente permettant d’améliorer l’efficience de ce process FSI Mercury très répandu dans les Fabs semiconducteurs. La FSI Smart Cell améliore l’ergonomie du chargement puisqu’elle dispense les opérateurs de la manipulation quotidienne de 3,5 tonnes de produits.
FSI SmartCell
Caractéristiques techniques
- Optimise l’espace en fab grâce à une cellule de chargement compacte,
- Optimise le Throughput de chargement et déchargement des machines, pour atteindre une quantité de 1,5 million de Wafers traités annuellement sur une cellule,
- Améliore l’ergonomie du poste de travail et réduit des risques TMS,
- Augmente la traçabilité du process et élimine les “killer defects”.
High Througput
Fully Connected
Low Footprint
High Ergonomics
ATG Technologies
Entrez dans l'industrie 4.0
Des solutions technologiques pour les FAB semicon
FSI SmartCell
Les avantages
- Chargement de la cellule automatisé par AMHS ou manuel,
- Sélection du process 100% automatisé,
- Mapping des wafers par vision avec contrôle des défauts (cross slot-double slot),
- Equilibrage des wafers par dummies (complémentation miroir),
- Lecture OCR des wafers individuels ou par lots,
- Transfert des wafers entre paniers Téflon et DMS,
- Chargement/déchargement automatisé de la cellule de nettoyage (FSI mercury).
