Systèmes de contrôle qualité de coffrets de transports de wafers.

ATG a mis au point des machines catalogue pour le contrôle qualité des coffrets de transport de wafers que ce soit pour des Fabs en 200mm (Pods) ou en 300mm (Foups).

Contrôle qualité de coffrets de transport

Nous proposons une machine de série permettant d’automatiser le contrôle des coffrets de transport (Pods ou Foups) ou des paniers eux-mêmes.

Les performances et bénéfices des systèmes de contrôle qualité

Amélioration de l’ergonomie du poste de travail et réduction des risques TMS
Fiabilisation des manutentions
Amélioration de la traçabilité du process
Diminution des apports particulaires

Les différents cas d'application

Cas 1 : Contrôle qualité de pods

Les Pods et les paniers étant au contact des wafers tout au long du process, il est absolument nécessaire de contrôler leur intégrité physique avant de pouvoir les réutiliser dans un nouveau cycle de fabrication.

Système fixe de table permettant de contrôler à la fois les paniers ou les pods.

Cas 2 : Contrôle qualité de foups

Les Foups et les paniers étant au contact des wafers tout au long du process, il est absolument nécessaire de contrôler leur intégrité physique avant de pouvoir les réutiliser dans un nouveau cycle de fabrication.

  • Le système est alimenté par les OHT
  • Le robot ouvre le Foup et dispose la porte sur son support d’inspection
  • De part la complexité du contrôle la caméra est embarquée sur le bras robotisé
  • Les mouvements du robot sont synchronisés avec des loadports rotatifs pour rendre toutes les faces accessibles.

Obtenir un devis personnalisé pour un système de contrôle qualité

Prenez contact avec nos équipes commerciales afin d’obtenir un devis personnalisé ou de la documentation pour un système de contrôle qualité de Foups ou de Pods ATG Technologies