Systèmes de chargement de Tools

Le chargement des équipements de production dans le domaine du semiconducteur est une étape particulièrement clé. Il faut qu’il se fasse de manière ergonomique avec une traçabilité parfaite. Cette étape souvent manuelle aujourd’hui peut être automatisée. Nous avons des solutions pour bon nombre de tools standards.

la FSI Smart Cell-Machine - Chargement automatique des FSI Mercury

La FSI Smart Cell permet :

  • La manipulation des cassettes/pods
  • La manipulation des wafers
  • La gestion des recettes
  • Le stockage et l’approvisionnement des pods.

La solution compacte proposée par ATG vous assure d’un throughput optimisé tout en améliorant l’ergonomie du poste et la fiabilité de la traçabilité.

Les performances et bénéfices

Optimisation du Throughput de chargement et déchargement des machines

Amélioration de l’ergonomie du poste de travail et réduction des risques TMS
Amélioration de la traçabilité du process
Diminution des apports particulaires

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