AMR automatisé pour la fab semi-conducteurs
Un Robot Mobile Autonome (RMA) ou Autonomous Mobile Robot (AMR) est, comme son nom l’indique un équipement qui se déplace de manière autonome dans un environnement sans intervention humaine. Plus flexible que les technologies traditionnelles et pouvant être intégré dans des ateliers sans modifications de structure, les AMR intégrés par ATG Technologies permettent de connecter aux OHT des équipements placés dans des zones inaccessibles à cette technologie.
SECS/GEM inside by Focussia
Les performances et bénéfices d'une solution AMR
Fluidifie le chargement et déchargement des machines
Amélioration de l’ergonomie du poste de travail
Réduction des risques d’erreurs
Amélioration de la traçabilité des lots
Convergence entre les moyens de transports
Facilite le déploiement d’AMHS partiel dans des Fabs existantes
Les différents cas d'application
Cas 1 : Manipulateur Mobile (Comobot™)
Le Manipulateur Mobile (Comobot™) est l’outil indispensable pour transporter des FOUPS ou des PODS dans des zones Inaccessibles aux OHT. Il permet notamment d’étendre le champ d’action des véhicules de transport automatisés (AMHS) qui ne sont pas en mesure d’accéder à certains équipements.
Totalement intégré aux standards de communications de la FAB ( SECS/GEM/E84), le Comobot trouve sa place dans les projets de modernisation des unités inaccessibles aux solutions OHT.
Cas 2 : Interface du Comobot™ avec notre HBIN
Une HBIN peut servir de station de chargement/déchargement (Loadport) des Manipulateurs Mobiles. Les équipements aujourd’hui inaccessibles aux OHT peuvent être automatisés tout en maintenant une possibilité d’alimentation manuelle.
HBIN/HBOUT : Un port de charge AMHS intelligent
Une station HBIN/HBOUT est une étagère intelligente et connectée qui peut être chargée et déchargée automatiquement par un véhicule de transport ou manuellement par un opérateur. Elle peut servir d'interface entre le système de transport automatisé (AMHS) et les opérateurs. Elle peut également servir de tampon de stockage temporaire à proximité des équipements afin de fluidifier les flux de production sans perdre en traçabilité.
Totalement intégrées aux standards de communications de la FAB (SECS/GEM/E84), mobiles et d’un faible encombrement, les stations HBIN/HBOUT trouvent leur place dans les projets de modernisation des unités de production existantes notamment les usines de production 200mm.