Systèmes de transport automatique de pods ou de foups

ATG Technologies est spécialisé dans l'automatisation et l'intégration de systèmes de transport de pods et de foups pour les fab semi-conducteurs.

AMR automatisé pour la fab semi-conducteurs

Un Robot Mobile Autonome (RMA) ou Autonomous Mobile Robot (AMR) est, comme son nom l’indique un équipement qui se déplace de manière autonome dans un environnement sans intervention humaine. Plus flexible que les technologies traditionnelles et pouvant être intégré dans des ateliers sans modifications de structure, les AMR intégrés par ATG Technologies permettent de connecter aux OHT des équipements placés dans des zones inaccessibles à cette technologie.

SECS/GEM inside by Focussia

Les performances et bénéfices d'une solution AMR

Fluidifie le chargement et déchargement des machines

Amélioration de l’ergonomie du poste de travail

Réduction des risques d’erreurs

Amélioration de la traçabilité des lots

Convergence entre les moyens de transports

Facilite le déploiement d’AMHS partiel dans des Fabs existantes

Les différents cas d'application

Cas 1 : Manipulateur Mobile (MaMo)

 

Le Manipulateur Mobile (MaMo) est l’outil indispensable pour transporter des FOUPS ou des PODS dans des zones Inaccessibles aux OHT. Il permet notamment d’étendre le champ d’action des véhicules de transport automatisés (AMHS) qui ne sont pas en mesure d’accéder à certains équipements.

Totalement intégré aux standards de communications de la FAB ( SECS/GEM/E84), le MaMo trouve sa place dans les projets de modernisation des unités inaccessibles aux solutions OHT.

Cas 2 : Interface du MaMo avec notre HBIN

Une HBIN peut servir de station de chargement/déchargement (Loadport) des Manipulateurs Mobiles. Les équipements aujourd’hui inaccessibles aux OHT peuvent être automatisés tout en maintenant une possibilité d’alimentation manuelle.

HBIN/HBOUT : Un port de charge AMHS intelligent

Une station HBIN/HBOUT est une étagère intelligente et connectée qui peut être chargée et déchargée automatiquement par un véhicule de transport ou manuellement par un opérateur. Elle peut servir d'interface entre le système de transport automatisé (AMHS) et les opérateurs. Elle peut également servir de tampon de stockage temporaire à proximité des équipements afin de fluidifier les flux de production sans perdre en traçabilité.

Totalement intégrées aux standards de communications de la FAB  (SECS/GEM/E84), mobiles et d’un faible encombrement, les stations HBIN/HBOUT trouvent leur place dans les projets de modernisation des unités de production existantes notamment les usines de production 200mm.

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