Chargement automatisé des tools et transport intrabay (OHT)

Dans une industrie de semi-conducteurs, le transport des lots d’un lieu vers un autre nécessite une solution de transport efficace et sur mesure. Il doit permettre la réduction du temps de cycle, la réduction des coûts de production et la rentabilisation du processus de production. Pour le chargement automatisé des tools et transport intrabay (OHT), optez pour les solutions proposées par ATG Technologies.

Chargement automatisé des tools et transport intrabay (OHT)

La performance d’une chaîne de production de semi-conducteurs dépend de nombreux facteurs. Outre la configuration, l’agencement et les contraintes d’agencement des machines, on peut également citer le type de système de chargement et de transport des lots. Assuré par l’Automated Material Handling System (AMHS), ill s’agit d’un exécuteur d’ordre de transport opérant au cœur de la chaîne logistique interne de la ligne de production. Il est commandé par le Manufacturing Execution System (MES), le donneur d’ordre, et par l’Execution Control System (ECS), le manager de l’information.

Parmi les solutions AMHS les plus utilisées figure le OverHead Hoist Transport (OHT). Ils opèrent généralement au plafond, et sont guidés par des rails. Leur déploiement optimise la gestion de l’espace au sol qui est occupé par les machines et les opérateurs.

Le système de chargement de tools et de transport intrabay a pour rôle de charger les OHT en lots et de transporter et de stocker ces derniers. La gestion des transports des lots se fait par zone, appelée également « baie ». Chaque baie dispose de sa propre unité de contrôle ayant pour rôle de gérer les requêtes de transport. Les unités de contrôle se partagent des informations sur le nombre de requêtes de transport en attente, sur le nombre des OHT disponibles dans la baie et sur le nombre des OHT indispensables pour réaliser ces requêtes. Le rôle de l’unité de contrôle est de répondre aux besoins de transport dans la baie en prenant en compte les ressources de transport disponibles. En cas d’insuffisance d’OHT dans la zone, par exemple, elle appelle les OHT en excès dans d’autres zones. Par contre, si le nombre d’OHT est en excès dans la baie, l’unité les envoie vers d’autres baies.

Les systèmes de transport par palan aérien (OHT) nécessitent des rails installés au plafond. Ils sont alimentés électriquement par câble. Ce mode d’alimentation permet d’éviter les problèmes liés au remplacement des batteries, comme c’est le cas avec les systèmes AGV. Leur chargement en lot s’effectue grâce aux bras mécaniques dont ils sont disposés. Ils ne peuvent accueillir qu’un seul lot à la fois. Un lot comprend entre 1 et 25 plaquettes de semi-conducteurs ou wafers.

L’automatisation des chargement automatisé des tools et transport intrabay (OHT) présente autant d’avantages :

• Optimisation de la compétitivité : le système de transport par palan aérien est plus rapide et plus fiable (réduction du coût de production) ;
• Maintien de l’intégrité des wafers, dans la mesure où ils ne sont plus transportés manuellement ;
• Optimisation des conditions de travail des opérateurs en diminuant les risques de troubles musculo-squelettiques.

Architecture du système intrabay et gestion de zones

Le système intrabay de transport automatisé repose sur une architecture modulaire et évolutive, structurée autour de rails aériens et de stations de transfert stratégiquement positionnées. Chaque zone de production est équipée d’un réseau dédié qui permet le déplacement fluide des cassettes ou FOUPs entre les équipements, sans interaction humaine. La gestion des zones se base sur un contrôle centralisé ou distribué, capable de hiérarchiser les priorités de transfert, d’optimiser les flux en temps réel et d’éviter les collisions.

À noter que ce système garantit la continuité du process, même en cas de pics de charge ou d’indisponibilité temporaire d’un outil. Des interfaces logicielles assurent d’ailleurs la communication entre le système intrabay et le MES (Manufacturing Execution System), et renforcent ainsi la traçabilité et la coordination des diverses opérations. L’architecture peut également intégrer des buffers dynamiques ou des zones de rétention pour absorber les aléas de production et sécuriser la logistique interne.

Avantages clés du transport intrabay par palan aérien

Le transport intrabay par palan aérien (OHT – Overhead Hoist Transport) présente de nombreux avantages pour les environnements de production high-tech, surtout dans le domaine des semi-conducteurs. En fait, en libérant l’espace au sol, il permet une meilleure organisation des zones de travail, réduit les risques de contamination particulaire et améliore la sécurité globale. Grâce à son fonctionnement automatisé, ce système assure un transfert rapide, précis et sans intervention humaine. Cela contribue à réduire les temps morts entre deux étapes de fabrication.

Il s’adapte aussi aisément aux contraintes de salles blanches et peut être configuré pour supporter des cycles intensifs 24 heures sur 24 et 7 jours sur 7. La maintenance prédictive, l’intégration aux outils de supervision et la redondance de certains éléments renforcent en outre la fiabilité globale de l’installation. Le palan aérien intrabay favorise enfin une meilleure flexibilité dans la gestion des lots et facilite en même temps l’extension future de la ligne de production.

ATG, la passion des technologies

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